离子束加工

作品数:61被引量:193H指数:9
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相关领域:金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者:周林解旭辉戴一帆李圣怡田野更多>>
相关机构:国防科学技术大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院中国兵器科学研究院更多>>
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大口径非球面系统的共基准加工与检验被引量:9
《光学精密工程》2018年第4期743-748,共6页王孝坤 薛栋林 张学军 
国家自然科学基金资助项目(No.61036015)
针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点,提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法,对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10(λ=632.8nm)时,对主镜和第三镜进行共基准装...
关键词:光学加工 光学检测 非球面 三镜消像散系统 共基准 离子束加工 
离轴三反空间相机主三镜共基准一体化结构被引量:16
《光学精密工程》2015年第6期1612-1619,共8页沙巍 陈长征 许艳军 张星祥 刘磊 王永宪 李新娥 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.863-2-5-1-13B)
针对采用离轴三反(TMA)光学系统的空间相机中光学系统主镜和三镜的轴向位置接近的特点,提出了主三镜共基准一体化结构来提高光机结构的精度和稳定性。利用一块高刚度、高度轻量化整体背板替代分离的主镜和三镜背板,以实现主镜和三镜光...
关键词:离轴三反空间相机 主镜 三镜 共基准 一体化结构 干涉检测 模态测试 离子束加工 
光学非球面离子束加工模型及误差控制被引量:10
《光学精密工程》2009年第11期2678-2683,共6页武建芬 卢振武 张红鑫 王泰升 
国家自然科学基金资助项目(No.60577004)
为了实现光学非球面元件的高精度加工,对先进的离子束加工系统进行了研究。通过对离子束加工系统的分析,给出了加工非球面光学元件的离子源子系统运动模型公式,并将求解驻留时间的反卷积过程转化为求解线性矩阵方程过程以便优化求解。...
关键词:离子束加工 非球面 定位误差分析 驻留时间矩阵方程 
光学镜面离子束加工的材料去除效率被引量:4
《光学精密工程》2008年第8期1343-1348,共6页焦长君 解旭辉 李圣怡 周林 
国家自然科学基金资助项目(No.50775216)
分析了离子束加工光学镜面的材料去除效率和不同材料之间的相对去除效率与工艺参数的关系。基于Sigmund溅射理论,建立了表征去除效率的指标一法向去除速率、体积去除速率和溅射产额与束能、束流以及入射角度之间的关系模型。以石英、...
关键词:光学加工 离子柬修形 离子溅射 去除效率 
光学镜面离子束加工的可达性被引量:24
《光学精密工程》2007年第2期160-166,共7页周林 戴一帆 解旭辉 焦长君 李圣怡 
国家自然科学基金重点项目资助(No.50535020)
提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但...
关键词:离子束加工 驻留时间 加工可迭性 光学镜面加工 计算机控制 光学表面成形 
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