离子束加工

作品数：61被引量：193H指数：9
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相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：周林解旭辉戴一帆李圣怡田野更多>>
相关机构：国防科学技术大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院中国兵器科学研究院更多>>
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光学表面超精密加工技术被引量：11
《光学仪器》2003年第3期47-51,共5页张华 王文 庞媛媛 
介绍了国内外光学器件超精密加工的各种先进方法 ,重点阐述了磁流变抛光技术及其抛光机理和关键技术。
关键词：光学器件 超精密加工 磁流变抛光 离子束加工 等离子体辅助抛光 
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