立方氮化硼薄膜

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金属与导电材料
《电子科技文摘》2003年第5期9-10,共2页
Y2002-63386 03092682001年 IEEE 宽带隙层材应用会议录=2001 IEEE in-ternafional conference of novel applications of widebandgap layers[会,英]/Institute of Microelectronics andOptoelectronies.—2001.—207P.(E)本会议录收...
关键词：导电材料 类金刚石薄膜 会议录 纳米晶体 PECVD 立方氮化硼薄膜 成核点 空穴陷阱 电介质材料 非晶合金 
晶体与微声材料
《电子科技文摘》1999年第8期12-13,共2页
关键词：激光晶体 功能材料 学术会议论文 光学性能 微声材料 合成莫来石 立方氮化硼薄膜 液晶 粉煤灰 硬质合金衬底 
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