力学量传感器

作品数：11被引量：21H指数：2
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真空微电子加速度传感器结构的有限元分析被引量：2
《微纳电子技术》2003年第7期292-294,301,共4页彭述成 温志渝 温中泉 潘银松 李霞 
"8 63"计划MEMS重大专项资助 (2 0 0 2AA 2 A16);教育部科学技术研究重大项目资助 (0 2 16)
论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理 ,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析 ,拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线。
关键词：真空微电子 加速度传感器 结构 有限元分析 场致发射 力学量传感器 工作原理 
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