磷化镓

作品数：117被引量：106H指数：5
导出分析报告
相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：崔得良黄柏标高善民张兆春丁祖昌更多>>
相关机构：山东大学北京有色金属研究总院浙江大学北京师范大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 基金=国防基础科研计划x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
工艺参数对磁控溅射磷化镓(GaP)薄膜沉积速率的影响被引量：5
《兵器材料科学与工程》2002年第3期30-33,共4页郭大刚 刘正堂 宋健全 耿东生 
航空基础科学基金 (98G5 3 10 4);国防基础科研计划 (J15 0 0E0 0 2 )资助
采用磁控溅射方法成功地在ZnS衬底上制备了磷化镓 (GaP)薄膜 ,并系统地研究了射频功率、气体流量、工作气压、衬底温度等主要工艺参数对GaP膜沉积速率的影响规律。实验表明 ,随着射频功率、气体流量的增加 ,沉积速率逐渐增大 ;工作气压...
关键词：磷化镓薄膜 工艺参数 磁控溅射 沉积速率 红外窗口材料 GAP 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部