流速传感器

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双加热电阻柔性MEMS流速传感器的测控电路
《微纳电子技术》2022年第4期341-347,共7页涂云婷 崔峰 赵韦良 
航天科学技术基金资助项目(20C-JJ02-011);上海市科委专业技术服务平台资助项目(19DZ2291103)。
为扩大流速传感器的测量量程和应用范围,设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统(MEMS)流速传感器,它是由一对加热电阻(也可作为测温电阻)、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成。主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电...
关键词：柔性微电子机械系统(MEMS) 流速传感器 柔性热膜 双加热电阻 测控电路 
海洋洋流/潜流测量热分布型微纳流速传感器
《微纳电子技术》2021年第11期1005-1013,共9页车啸婷 贾治森 王振宇 管轶华 郜晚蕾 金庆辉 
国家自然科学基金资助项目(61871243)。
设计并仿真了一种利用介质热传递原理工作的流速传感器,适用于低流速区域的海洋洋流/潜流流速测量。通过物理场仿真软件COMSOL对传感器进行了热-流体的耦合场模拟仿真分析,验证了设计传感器的可行性。采用微电子机械系统(MEMS)加工技术...
关键词：流速传感器 微纳传感器 微电子机械系统(MEMS) 热敏电阻 海洋洋流/潜流 
用于流速测量的微型力传感器的研制被引量：1
《微纳电子技术》2019年第12期992-998,共7页涂云婷 金敏慧 张成功 李以贵 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市农委重点项目子项目(沪农科创字(2018)第3-3号));2019届毕业设计(论文)重点项目经费(1011LW190038-A22)
设计并仿真了一种压阻式六自由度力传感器及其测量电桥,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以单晶硅为结构材料的六自由度力传感器,完成了传感器芯片的封帽式封装。压阻式六自由度力传感器的尺寸为5 mm×5 mm×3 mm,由传感器芯片...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 六自由度(6-DOF) 力传感器 封装 流速传感器 
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