流速传感器

作品数:73被引量:111H指数:5
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农业水利灌溉区流速传感器流量测量算法简述
《河北农机》2025年第1期106-108,共3页孙晓 
在现代农业中,实现高效用水的一个关键点在于能够对明渠的流量进行精确测量。当前,灌区里最为常见的河道类型是弧形底河道。本文首先提出了一种新的弧底通道流量估计算法,然后验证了弧底通道的对数定律是沿法线而非垂直线。基于速度分...
关键词:明渠 流量测量算法 流量特性 特征感测点 
煤层气排采参数实时探测系统研制
《工业仪表与自动化装置》2024年第6期34-38,共5页任建超 孙立强 白荣财 高卫卫 肖琪 
针对煤层气排采参数实时探测的需求,设计了一套煤层气排采参数实时探测系统,该系统由井下探头和上位机软件两部分组成,可实现井筒环空流速、压力及温度的实时采集。文中对传感器、电路及软件编程进行了详细的设计,并在加工完成后利用实...
关键词:煤层气 合层排采 流速传感器 实时探测 
具有温度补偿的微细圆柱基MEMS流速传感器研究
《半导体光电》2024年第1期29-35,共7页黄皓凯 胡致远 叶丰明 杨卓青 
国家自然科学基金项目(61974088)。
目前常见的流速传感器由于尺寸原因,只能介入管径较大的管道进行液体流速测量。设计并制造了一种可介入小管径管道的、具有温度补偿功能的圆柱基流速传感器,器件采用旋转投影曝光和微机电系统(MEMS)技术制作而成,包含一个薄膜型加热电...
关键词:微机电系统 微细圆柱基底 热阻式 温度补偿 流速传感器 
一种新型低下限差压流速传感器的设计及应用被引量:2
《工业仪表与自动化装置》2023年第6期60-63,共4页刘磊 
差压式流速传感器因工作稳定可靠、成本低而广泛应用于各类矿山、巷道的气体流速监测,该文通过分析传统S型皮托管测量气体流速的原理及使用局限性,详细介绍了一种基于自导流S型皮托管的新型差压流速传感器的结构特点及传感器软、硬件设...
关键词:气体流速 自导流 差压 皮托管 测量 
基于高Q值轴向渐变型空芯微腔的高灵敏流速传感器
《光学学报》2023年第20期224-232,共9页万洪丹 张帅 陈彧芳 张疏桐 汪静丽 施伟华 
国家自然科学基金(12174199,11704199);中国博士后科学基金(2021M701765);江苏省自然科学基金面上项目(BK20221330);江苏省青蓝工程优秀青年骨干教师计划;南京邮电大学STITP项目;江苏省研究生实践创新计划项目(SJCX21_0275)。
创新性地提出了一种基于高Q值轴向渐变型空芯微腔的高灵敏流速传感器,实现了微压状态下微腔回音壁模式共振光场对流体的直接检测。首先,利用流体动力学和有限元算法理论分析了轴向渐变型空芯微腔的流速和光场特性。其次,通过熔融拉锥和...
关键词:轴向渐变型空芯微腔 流速传感 回音壁模式 灵敏度 分辨率 
自加热非晶锗热电阻MEMS流速传感器的制造与测试被引量:1
《半导体光电》2023年第2期175-180,共6页赵韦良 崔峰 
航天科学技术基金项目(20C-JJ02-011);上海市科委专业技术服务平台资助项目(19DZ2291103)
为扩大流速传感器的测量范围并降低功耗,制造并测试了一种基于自加热非晶锗薄膜热电阻的MEMS流速传感器,它是由嵌入氮化硅薄膜的四个非晶锗热敏电阻和一对环境测温补偿电阻组成。四个非晶锗热电阻同时作为自加热热源和测温元件,相互连...
关键词:MEMS 流速传感器 非晶锗薄膜热电阻 自加热 恒电流工作 
基于MEMS技术的仿生纤毛风速传感器的设计和仿真
《半导体光电》2022年第6期1075-1079,共5页卢建勋 周南彦 刘武 
国家自然科学基金项目(61871266);上海市科委专业技术服务平台项目(19DZ2291103)。
设计了一种可以实现二维风速测量的电容式纤毛传感器,其特点为通过差分电容检测流速,传感器运动结构所对应的背硅被完全刻蚀。采用有限元分析软件,通过流体-固体-静电场的多物理场仿真,分析得到了传感器的差分电容与风速的变化关系。结...
关键词:MEMS 流速传感器 仿真 差分电容 纤毛 
双加热电阻柔性MEMS流速传感器的测控电路
《微纳电子技术》2022年第4期341-347,共7页涂云婷 崔峰 赵韦良 
航天科学技术基金资助项目(20C-JJ02-011);上海市科委专业技术服务平台资助项目(19DZ2291103)。
为扩大流速传感器的测量量程和应用范围,设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统(MEMS)流速传感器,它是由一对加热电阻(也可作为测温电阻)、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成。主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电...
关键词:柔性微电子机械系统(MEMS) 流速传感器 柔性热膜 双加热电阻 测控电路 
小型肺功能仪器的现状分析及展望
《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2021年第12期192-194,共3页文瑜龙 梁妙华 黄穗杰 冯彩金 赵亮兵 
本文主要对比分析小型肺功能医疗产品在技术原理、电子、软件以及环境因素当前现状。减少企业在产品设计以及在后续检测过程中产品规格参数和性能不符合线性标准。整体宏观上看,该产品的设计难点在技术原理,该方面国内没有自己的核心技...
关键词:肺功能 压差流速传感器 电子方案 软件设计 
小型肺功能方案的讨论对比被引量:1
《中国医疗器械信息》2021年第23期34-36,139,共4页邓潇彬 伍倚明 许于春 
主要对比分析小型肺功能医疗产品在技术原理、电子、软件以及环境等因素当前的现状。让企业在产品设计以及后续检测过程中产品规格参数和性能符合肺功能仪相关标准,少走弯路。整体宏观上看,该产品的设计难点在技术原理,这方面国内没有...
关键词:肺功能 压差流速传感器 电子方案 软件设计 
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