六氟化钨

作品数：56被引量：75H指数：6
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六氟化钨的合成与开发被引量：13
《无机化工信息》2004年第2期34-37,3,共5页于剑昆 
介绍了国外六氟化钨的制备和精制工艺进展，重点描述了电子工业中应用的高纯度六氟化钨的制备工艺。同时介绍了六氟化钨的性质、产品规范、应用及经济等方面的状况，评述了六氟化钨在国内外的发展前景。
关键词：六氟化钨 合成 开发 性质 工业化生产 化学气相沉积 
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