六氟化钨

作品数：56被引量：75H指数：6
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高纯六氟化钨去除氟化氢的工艺研究被引量：2
《化工生产与技术》2015年第2期1-4,11,共4页陈志刚 
国家国际科技合作专项(2010DFR50730)
对高纯六氟化钨制备过程中,采用综合措施抑制电解制氟时氟化氢的挥发、球状氟化钠吸收氟化氢、液氮冷冻固化氟化氢而提纯氟气、六氟化钨低温冷冻抽真空除去氟化氢等物理过程,以及利用六氯化钨与氟化氢发生反应而去除氟化氢的化学过程。...
关键词：六氟化钨 氟化氢 去除 提纯 
半导体工业的新型氟化学产品
《化工生产与技术》2002年第4期30-30,共1页郑元昌 
关键词：六氟化钨 三氟化氯 半导体工业 新型 氟化学产品 
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