脉冲镀金

作品数：12被引量：25H指数：3
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相关领域：化学工程电子电信更多>>
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相关机构：中国工程物理研究院中国科学院电子工业部中国电子科技集团第四十研究所更多>>
相关期刊：《材料保护》《新技术新工艺》《电镀与精饰》《激光与红外》更多>>
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脉冲电镀优化金镀层性能的工艺研究被引量：6
《新技术新工艺》2016年第9期7-11,共5页陈楠 熊瑛 郭亮 田扬超 刘刚 
国家重点基础研究发展计划(973项目)(2012CB825804)
镀金工艺是许多大高宽比微纳结构实现其功能化的重要技术手段。由于其结构的特殊性,往往需要获得晶粒小、致密均匀的金镀层,才能满足微纳元器件的需求。针对微纳米结构金属化的要求,研究了柠檬酸金钾脉冲电镀工艺,通过正交试验法确定了...
关键词：正交试验法 脉冲镀金 微纳结构 
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