脉冲偏压

作品数：113被引量：371H指数：10
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：林国强董闯闻立时黄美东赵彦辉更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院金属研究所哈尔滨工业大学东华大学更多>>
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脉冲偏压频率对TiSiN/TiAlN纳米多层膜结构和性能的影响规律被引量：2
《表面技术》2021年第12期311-319,共9页魏永强 游业豪 蒋志强 
国家自然科学基金(51401182);航空科学基金(2016ZE55013);河南省高等学校重点科研项目指导计划(22B430030)。
目的研究脉冲偏压频率对Ti SiN/TiAlN纳米多层薄膜结构和性能的影响,优化工艺参数,以提高薄膜的性能。方法采用脉冲偏压电弧离子镀,在M2高速钢和单晶硅基底上以不同脉冲偏压频率沉积Ti SiN/TiAlN纳米多层薄膜,采用扫描电子显微镜(SEM)...
关键词：电弧离子镀 纳米多层膜 TiSiN/TiAlN 脉冲偏压频率 纳米硬度 
脉冲偏压对电弧离子镀TiCN薄膜组织结构的影响被引量：5
《表面技术》2018年第9期199-205,共7页刘恋 石倩 代明江 匡同春 林松盛 郭朝乾 李洪 苏一凡 
中山市广东省科学院技术转移专项(2016G1FC0006);广东省科学院平台建设项目(2016GDASPT-0206);广东省科学院科技创新发展专项(2017GDASCX-0202)~~
目的改善TiCN薄膜的组织结构,进一步提高其硬度与结合力。方法采用电弧离子镀技术,通过改变脉冲偏压的幅值,制备一系列的TiCN薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜的表面和截面形貌,采用X射线衍射(XRD)对薄膜进行物相分析,用X射线光...
关键词：TiCN薄膜 电弧离子镀 脉冲偏压 C3N4 硬度 结合强度 
脉冲偏压对复合离子镀(Ti,Cu)N薄膜结构与性能的影响被引量：2
《表面技术》2015年第10期22-26,共5页张臣 黄美东 陈泽昊 王萌萌 王宇 
天津师范大学创新计划项目(52X09038);天津师范大学大学生创新项目(201510065021)~~
目的 (Ti,Cu)N薄膜是一种新型的硬质涂层材料,关于其结构和性能的研究报道还较少。研究脉冲偏压对(Ti,Cu)N薄膜结构与性能的影响规律,以丰富该研究领域的成果。方法将多弧离子镀和磁控溅射离子镀相结合构成复合离子镀技术,采用该技术在...
关键词：复合离子镀 (Ti Cu)N薄膜 脉冲偏压 表面形貌 结构 力学性能 
脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响被引量：12
《表面技术》2014年第1期1-6,39,共7页魏永强 张艳霞 文振华 蒋志强 冯宪章 
国家自然科学基金(51105344);航空科学基金(2012ZE55011);河南省教育厅科学技术研究重点项目(13A430397;14A140026);河南省科技厅基础与前沿技术研究计划(132300410241);河南省高校科技创新团队支持计划(2012IRTSTHN014);郑州航院科研创新团队建设项目(2014TD01)~~
目的研究脉冲偏压占空比对TiN/TiAlN多层薄膜微观结构和硬度的影响规律。方法利用脉冲偏压电弧离子镀的方法,改变脉冲偏压占空比,在M2高速钢表面制备5种TiN/TiAlN多层薄膜,对比研究了薄膜的微观结构、元素成分、相结构和硬度的变化规律...
关键词：TIN TIALN 电弧离子镀 纳米硬度 微观结构 脉冲偏压占空比 
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