脉冲偏压

作品数:113被引量:371H指数:10
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相关领域:金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者:林国强董闯闻立时黄美东赵彦辉更多>>
相关机构:大连理工大学中国科学院金属研究所哈尔滨工业大学东华大学更多>>
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脉冲偏压和氮气分压对多弧离子镀(Zr,Cr)N薄膜结构和性能的影响
《天津师范大学学报(自然科学版)》2024年第5期11-17,共7页郭圆萌 孙艳 吴兴华 黄美东 
天津市研究生科研创新项目(2022SKYZ156)。
为探究基体脉冲偏压和氮气分压对(Zr,Cr)N薄膜性能的影响,采用多弧离子镀技术沉积薄膜样品,并利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、摩擦实验仪和表面性能实验仪对(Zr,Cr)N薄膜样品的表面形貌、物相结构、力学性能和浸润性...
关键词:多弧离子镀 氮气分压 脉冲偏压 疏水性 摩擦磨损 
脉冲偏压占空比对电弧离子镀AlCrSiN涂层结构和性能的影响被引量:1
《天津职业技术师范大学学报》2024年第1期1-7,共7页白乌力吉 刘艳梅 张蕊 王重阳 许梦娇 尹霜 王铁钢 
天津市多元投入基金重点项目(22JCZDJC00670);天津市教委科研计划重点项目(2022ZD020).
为优化电弧离子镀AlCrSiN涂层的制备工艺,获得最佳的脉冲偏压占空比,采用全自动脉冲电弧离子镀技术,在不同脉冲偏压占空比下分别制备AlCrSiN涂层,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、划痕仪、球-盘式摩擦磨损试验机等对涂层物...
关键词:全自动电弧离子镀 AlCrSiN涂层 脉冲偏压占空比 微观结构 力学性能 摩擦性能 
同步脉冲偏压对低温制备的CrSiN薄膜结构及性能的影响研究被引量:1
《真空与低温》2024年第1期48-56,共9页贵宾华 张腾飞 刘铭 周晖 马占吉 杨拉毛草 汪科良 鲜昌卫 蒋钊 
甘肃省自然科学基金(23JRRA1353);甘肃省青年科技基金(22JR5RA786);兰州市人才创新创业项目(2022-RC-3)。
利用高功率脉冲磁控溅射技术,研究了同步脉冲偏压对低温沉积的CrSiN薄膜的组织结构、力学、摩擦学及耐腐蚀性能的影响。研究表明,随着同步脉冲偏压升高,荷能离子轰击对薄膜表面的溅射作用增强,薄膜中的轻质元素含量略有下降,同时c-CrN(1...
关键词:高功率脉冲磁控溅射 同步脉冲偏压 组织结构 摩擦学性能 耐腐蚀性能 
高速离子渗氮对不锈钢表面改性的研究
《国外铁道机车与动车》2024年第1期25-28,共4页刘书棋 代师宇 辛宁 郭媛媛 
辽宁科技大学大学生创新创业项目(S202110146003)。
低温离子渗氮能够在不破坏不锈钢耐蚀性的同时有效提高其耐磨性能,因此广泛应用于机车零部件、化工、电力、轻工、医药等多个领域。然而,低温离子渗氮的低效率限制了该技术的应用,因此需要开发一种新型的高速离子渗氮方法对不锈钢表面...
关键词:离子渗氮 不锈钢 脉冲偏压 相结构 耐磨性 
脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜微观结构和性能的影响规律被引量:1
《中国表面工程》2023年第6期57-67,共11页魏永强 顾艳阳 范梦圆 杨佳乐 张华森 张晓晓 钟素娟 廖志谦 
国家自然科学基金(51401182);中国国家留学基金(CSC202108410274);河南省科技攻关计划(222102220066);河南省高层次人才国际化培养和郑州航空工业管理学院科研团队(23ZHTD01010)资助项目。
随着先进制造领域对高速钢材料切削性能和加工性能的要求越来越高,迫切需要利用氮化物薄膜来提高基体材料的硬度和耐磨性等综合性能,延长高速钢材料的使用寿命。通过TiCrN薄膜提升高速钢材料的使役性能,研究脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜...
关键词:电弧离子镀 脉冲偏压占空比 TiCrN薄膜 纳米硬度 耐蚀性 摩擦因数 
偏压占空比对磁控溅射制备AlMgB薄膜的影响研究
《河北北方学院学报(自然科学版)》2023年第7期1-6,共6页王校苗 党玲岩 田野 
采用JGP-450型三靶磁控溅射系统制备超硬AlMgB薄膜。研究脉冲偏压占空比复合参数对AlMgB薄膜的沉积速率、表面形貌、微观结构及机械性能的影响。实验中,采用3D表面轮廓仪、原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪及纳米压痕技术对薄膜的厚...
关键词:磁控溅射 AlMgB薄膜 超硬 脉冲偏压-占空比 B12 
高可靠性InGaZnO薄膜晶体管集成栅极驱动电路的研究被引量:1
《电子学报》2022年第12期3014-3020,共7页周刘飞 邵贤杰 陈旭 王海宏 王保平 
InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO Thin Film Transistor,IGZO TFT)具有高迁移率特性,易实现高分辨率且高刷新率的有源矩阵液晶显示(Liquid Crystal Displays,LCD).然而,由于IGZO TFT长期运行后较严重的性能下降,集成栅极驱动电路(Gate Driver...
关键词:InGaZnO薄膜晶体管 集成栅极驱动 阈值电压漂移 双极性脉冲偏压 可靠性 拉伸-指数方程 
脉冲偏压对316L不锈钢表面类金刚石薄膜腐蚀行为影响被引量:3
《中国表面工程》2022年第5期272-278,共7页陈东旭 郭阳阳 祁继隆 周艳文 
国家自然科学基金(51972155);辽宁省教育厅基金(LJKZ0286)资助项目
为了提高不锈钢的耐局部腐蚀性能,采用等离子体增强化学气相沉积(Plasma-enhanced chemical vapor deposition,PECVD)技术,在316L不锈钢表面制备含氢类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜,研究不同脉冲偏压对薄膜的杂化结构及腐蚀行...
关键词:等离子体 脉冲偏压 化学气相沉积 类金刚石薄膜 腐蚀行为 
脉冲偏压占空比对TiSiN薄膜结构和性能的影响被引量:1
《金属热处理》2022年第8期279-286,共8页魏永强 顾艳阳 赵重轻 蒋志强 
国家自然科学基金(51401182);河南省科技攻关项目(222102220066);河南省教育厅自然科学重点项目(22B430030)。
采用电弧离子镀方法,通过改变脉冲偏压占空比在M2高速钢和单晶硅片基体上沉积TiSiN薄膜,研究脉冲偏压占空比对TiSiN薄膜形貌结构、元素成分、相结构、纳米硬度和耐蚀性能的影响。脉冲偏压占空比为30%时,TiSiN薄膜表面的大颗粒数目达到...
关键词:电弧离子镀 TiSiN薄膜 占空比 纳米硬度 耐蚀性 
同步脉冲偏压对Hi PIMS技术低温沉积CrN涂层结构及性能影响被引量:2
《中国表面工程》2022年第3期226-234,共9页贵宾华 周晖 张腾飞 马占吉 杨拉毛草 张延帅 
甘肃省青年科技基金资助项目(20JR10RA480)。
针对高性能CrN涂层无法实现低温可控制备的技术瓶颈,利用具备高溅射材料离化率的高功率脉冲磁控溅射技术,调控同步脉冲偏压,改善涂层生长动力学条件,实现CrN涂层的低温可控沉积。开展同步脉冲偏压与涂层化学组成、组织结构、力学、摩擦...
关键词:高功率脉冲磁控溅射 同步脉冲偏压 组织结构 摩擦学性能 耐腐蚀性能 
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