云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 纳米测量机

纳米测量机: 作品数：27被引量：123H指数：6; 导出分析报告; 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>; 相关作者：胡小唐李源傅星郭彤陈津平更多>>; 相关机构：天津大学上海市计量测试技术研究院合肥工业大学中航工业北京长城计量测试技术研究所更多>>; 相关期刊：《上海计量测试》《工业计量》《自动化仪表》《组合机床与自动化加工技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金国家质检总局科技计划项目更多>>

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基于纳米测量机的微结构三维坐标测量被引量：8: 《光学精密工程》2020年第10期2252-2259,共8页吴俊杰李源; 上海市市场监督管理局科技项目资助(No.2019-02);上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(No.19YF1441700);国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2004904)。; 针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量...; 关键词：微纳米测量纳米测量机三维微接触测头高深宽比侧壁倾角