纳米测量机

作品数：27被引量：123H指数：6
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相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
相关作者：胡小唐李源傅星郭彤陈津平更多>>
相关机构：天津大学上海市计量测试技术研究院合肥工业大学中航工业北京长城计量测试技术研究所更多>>
相关期刊：《上海计量测试》《工业计量》《自动化仪表》《组合机床与自动化加工技术》更多>>
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基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的扫描测量平台被引量：9
《仪器仪表学报》2009年第3期580-585,共6页李源 孙薇斌 邵力 傅星 栗大超 胡小唐 
上海市博士后基金重点(07R214208)资助项目
将自主开发的基于MEMS工艺的微触觉测头与纳米坐标测量平台相结合,构建高性能的扫描测量平台,提高了微结构和器件扫描测量的精度和分辨力。基于微触觉测头的测量原理,研究了微触觉测头应用于纳米坐标测量平台的反馈控制方法以及控制转...
关键词：微机电系统 微触觉测头 纳米测量机 扫描测量平台 
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