纳米结构制作

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相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
相关作者：陈献忠陈旭南姚汉民石建平高洪涛更多>>
相关机构：中国科学院北京大学中国科学院重庆绿色智能技术研究院中国科学技术大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《微纳电子技术》《微细加工技术》《半导体技术》更多>>
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一种可制作任意纳米图形的新技术
《微纳电子技术》2004年第8期1-5,20,共6页石建平 陈旭南 陈献忠 高洪涛 
中国科学院创新基金资助项目(A2K0009);中科院光电技术研究所所长基金资助(CK0211)
提出一种可制作纳米量级任意微细结构图形的新方法。该方法利用特别设计制作的原子束计算全息片来操纵原子运动,在基底堆积形成纳米图形;弥补了原子光刻技术中利用激光驻波场控制原子堆积只能制作单一量子点、线等周期性图形的不足。扼...
关键词：纳米结构制作 激光冷却 原子全息 
纳米印刷光刻技术
《微纳电子技术》2002年第12期36-39,共4页陈献忠 姚汉民 陈旭南 李展 石建平 
中国科学院知识创新工程项目(A2K0009);微细加工光学技术国家重点实验室开放基金课题(KFS4)资助
介绍了纳米结构制作的一种新方法———纳米印刷光刻的基本原理、总体方案。该技术与其它微刻印技术相比,具有成本低、生产效率高、可批量生产、工艺过程简单等优点。介绍了SiC模板的制作方法、用纳米印刷光刻技术制作纳米结构的加工步...
关键词：纳米印刷光刻 纳米结构制作 批量生产 高效率 低成本 SiC模板 
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