陈献忠

作品数：23被引量：29H指数：3
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：原子束纳米结构制作原子光刻原子激光驻波场更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《微细加工技术》《光子学报》《物理学报》更多>>
所获基金：中国科学院知识创新工程国家重点实验室开放基金中国科学院知识创新工程重要方向项目中国科学院科研项目更多>>
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中心对称材料中二次谐波产生的影响因素被引量：1
《光电子．激光》2007年第1期5-8,共4页陈旭南 石建平 罗先刚 陈献忠 李海颖 胡承刚 田宏 
国家自然科学基金资助项目(60578031)
介绍中心对称材料二次谐波产生（SHG）的基本原理，通过数值模拟计算，分析研究影响中心对称材料SHG的因素。其中，光子晶体带隙（PBG）的影响最为关键，它决定了SH能否产生；激励波入射角与组成结构的耦合介质柱和填充因子对SHG强度大...
关键词：中心对称材料 二次谐波产生(SHG) 频率变换 影响因素 转换效率 
一种可用于原子全息光刻的二元计算全息新方法
《强激光与粒子束》2006年第4期671-674,共4页彭仁军 陈献忠 王艳平 吴健 
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助课题
原子全息光刻即采用二元计算全息片掩模来操纵原子,实现微细结构的制作。传统二元计算全息产生的全息片在重现时会产生不止一个实像,这对于原子全息光刻的操作是不利的。提出了一种非相位编码的方法,该方法利用基元函数叠加方式产生实...
关键词：原子全息光刻 二元计算全息 编码 微细结构 
用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析被引量：1
《物理学报》2005年第6期2645-2652,共8页陈献忠 姚汉民 陈旭南 
中国科学院知识创新工程项目(批准号:A2K0009);开放基金资助的课题.~~
用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出...
关键词：完全非共振激光驻波场 原子聚焦 纳米结构制作 原子光刻试验 
激光驻波原子透镜的像差分析
《强激光与粒子束》2004年第10期1233-1239,共7页陈献忠 姚汉民 陈旭南 石建平 张春梅 
中国科学院知识创新工程项目资助课题(A2K0009);微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助课题
　用激光驻波构成的原子透镜对原子束实现nm量级的聚焦,由于原子束的速度扩散、束扩散和原子的波动特性等因素的影响,原子透镜存在像差。建立了两种描述原子透镜的理论模型,用半经典模型分析原子透镜的球差、色差及由原子束的发散角引...
关键词：激光驻波场 原子透镜 像差分析 光刻技术 
一种可制作任意纳米图形的新技术
《微纳电子技术》2004年第8期1-5,20,共6页石建平 陈旭南 陈献忠 高洪涛 
中国科学院创新基金资助项目(A2K0009);中科院光电技术研究所所长基金资助(CK0211)
提出一种可制作纳米量级任意微细结构图形的新方法。该方法利用特别设计制作的原子束计算全息片来操纵原子运动,在基底堆积形成纳米图形;弥补了原子光刻技术中利用激光驻波场控制原子堆积只能制作单一量子点、线等周期性图形的不足。扼...
关键词：纳米结构制作 激光冷却 原子全息 
原子光刻用超高真空蒸发设备的设计和建立被引量：1
《光电工程》2004年第1期5-8,共4页陈献忠 姚汉民 陈旭南 李展 陈元培 高洪涛 石建平 
中国科学院创新基金资助项目(A2K0009);中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放基金课题
原子光刻是原子光学在微细加工技术领域的新应用.在对各种材料和真空泵性能综合考虑的基础上,设计并建立了一台用于原子光刻的超高真空蒸发设备.主要设计参数为:极限真空度和工作真空度分别为2.0×10-6 Pa 和1.0×10-5 Pa,原子源温度在...
关键词：原子光刻 超高真空蒸发设备 设计 原子光学 微细加工技术 
亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用被引量：3
《强激光与粒子束》2003年第9期919-922,共4页陈献忠 姚汉民 陈旭南 
中科院知识工程创新课题(A2K0009);中科院开放基金资助课题
　介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法。亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却,准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程,原子的密度分布出现沟道化效应,给出基于光掩模制作纳米图形的基本原...
关键词：亚稳态原子束 纳米结构制作 光掩模 光驻波淬火 自组装单分子膜抗蚀剂 
高真空光刻样品CCD显微观察装置
《光学仪器》2003年第4期73-76,共4页陈元培 陈旭南 李展 高洪涛 陈献忠 
中科院知识创新工程资助项目 ( A2 K0 0 0 9) ;微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助项目 ( KFS4)
介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理。针对具体的实验系统 ,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的 CCD显微观察装置 ,该装置以CCD相机实时采样通过计算机自动图像处理直接显示和输出样品的微结构信息。与...
关键词：原子光刻 CCD 显微系统 柯拉照明 显微观察装置 
驻波透镜聚焦原子束制作纳米图形研究被引量：5
《微纳电子技术》2003年第7期546-549,556,共5页陈元培 陈旭南 李展 陈献忠 
中科院知识创新基金资助项目 (A2K0 0 0 9);微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助项目 (KFS4)
介绍了将激光驻波聚焦原子束技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性及像差 ,数值结果显示原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ,可以实现纳米级超微细图形的制作。
关键词：驻波透镜 聚焦原子束 纳米图形 原子光学 原子光刻 透镜像差 
全息片质量对原子全息光刻图形影响的模拟研究
《微细加工技术》2003年第3期26-30,共5页石建平 陈旭南 陈献忠 高洪涛 陈元培 秦涛 
中国科学院创新基金资助项目(A2K0009)
全息片质量是影响原子全息光刻再现图形质量的关键因素,然而其制作工艺复杂,工序繁多,质量难以控制,模拟研究有助于把握全息片制作工艺中的关键环节,提高全息片的质量。详细模拟了全息片的三个主要质量指标:刻透率、分辨力以及薄膜厚度...
关键词：全息片质量 原子全息光刻 刻透率 分辨力 薄膜厚度 原子波包 全息再现 
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