纳米结构制作

作品数：12被引量：15H指数：2
导出分析报告
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
相关作者：陈献忠陈旭南姚汉民石建平高洪涛更多>>
相关机构：中国科学院北京大学中国科学院重庆绿色智能技术研究院中国科学技术大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《微纳电子技术》《微细加工技术》《半导体技术》更多>>
相关基金：中国科学院知识创新工程国家重点实验室开放基金国家自然科学基金中国科学院科研项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
混合网络纳米结构制作透明指纹传感器
《传感器世界》2018年第7期55-55,共1页
《自然·通讯》杂志近日发表了韩国蔚山国立科技研究所一个团队的一项材料科学新突破：以用超长银纳米纤维和纯银纳米线制成随机混合网络纳米结构，创造出新型透明电极，进而产生一种透明的指纹传感器，用户可以将手指放在屏幕的任何位...
关键词：纳米结构制作 指纹传感器 混合网络 纳米纤维 材料科学 透明电极 研究所 纯银 
AAO为模板软印模法构建大面积高性能SERS基底（英文）
《南开大学学报（自然科学版）》2014年第1期31-36,共6页陈宗强 齐继伟 杨明 孙骞 
Supported by Tianjin Natural Science Foundation(12JCQNJC01100);National Natural Science Foundation of China(61178004)
以双通多孔氧化铝(AAO)为模板用软印模法制作出硅胶(PDMS)纳米线团簇结构,用离子束溅射沉积法在硅胶纳米面条衬底上镀一层50nm的金膜,制成大面积、超高灵敏的SERS基底.以不同孔径的AAO为模板,制作出不同直径的纳米线.用罗丹明6G为探针分...
关键词：表面等离子共振 表面增强拉曼散射 纳米结构制作 
科学家发现纳米结构制作方法
《纳米科技》2013年第6期87-87,共1页
美国宾夕法尼亚大学的科学家用“直接组装”的方法制作出了微型花状液晶，这种液晶可用于镜头的制造。顾名思义，“直接组装”其实是按照一系列预定指令进行的制造工艺。
关键词：纳米结构制作 科学家 美国宾夕法尼亚大学 制造工艺 液晶 组装 镜头 
用于悬浮纳米结构制作的氢氟酸气相刻蚀研究被引量：2
《半导体技术》2009年第12期1166-1169,共4页张伟 刘泽文 
国家自然科学基金(60576048)
针对纳米悬浮结构的制作,对不同温度和不同气相条件下的氢氟酸(HF)气相刻蚀进行了研究。利用自制的研究装置,使用HF/水混合气体和HF/乙醇混合气体分别进行了HF对PECVD SiO2的气相刻蚀实验,同时测量了不同衬底温度下刻蚀速率的变化。研...
关键词：氢氟酸 气相刻蚀 二氧化硅 纳米结构 微/纳机电系统 
纳米光刻技术现状与进展被引量：4
《世界科技研究与发展》2005年第3期7-11,共5页耿磊 陈勇 
随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础。纳米光刻技术是制作纳米结构的基础,具有重要的应用前景。文章介绍了几种极有潜力的下一代纳米光刻技术,包括极紫外光刻技术、电子束光刻技术、纳米压印光刻技术的新...
关键词：纳米技术 纳米光刻 纳米结构制作 纳米光刻技术 现状与进展 纳米结构器件 极紫外光刻技术 电子束光刻技术 纳米加工技术 集成电路 
用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析被引量：1
《物理学报》2005年第6期2645-2652,共8页陈献忠 姚汉民 陈旭南 
中国科学院知识创新工程项目(批准号:A2K0009);开放基金资助的课题.~~
用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出...
关键词：完全非共振激光驻波场 原子聚焦 纳米结构制作 原子光刻试验 
一种可制作任意纳米图形的新技术
《微纳电子技术》2004年第8期1-5,20,共6页石建平 陈旭南 陈献忠 高洪涛 
中国科学院创新基金资助项目(A2K0009);中科院光电技术研究所所长基金资助(CK0211)
提出一种可制作纳米量级任意微细结构图形的新方法。该方法利用特别设计制作的原子束计算全息片来操纵原子运动,在基底堆积形成纳米图形;弥补了原子光刻技术中利用激光驻波场控制原子堆积只能制作单一量子点、线等周期性图形的不足。扼...
关键词：纳米结构制作 激光冷却 原子全息 
亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用被引量：3
《强激光与粒子束》2003年第9期919-922,共4页陈献忠 姚汉民 陈旭南 
中科院知识工程创新课题(A2K0009);中科院开放基金资助课题
　介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法。亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却,准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程,原子的密度分布出现沟道化效应,给出基于光掩模制作纳米图形的基本原...
关键词：亚稳态原子束 纳米结构制作 光掩模 光驻波淬火 自组装单分子膜抗蚀剂 
用亚稳态氩原子束制作纳米结构
《光学精密工程》2003年第1期6-10,共5页陈献忠 高洪涛 姚汉民 陈旭南 李展 石建平 陈元培 
中国科学院知识创新工程项目 (A2K0 0 0 9);微细加工光学技术国家重点实验室开放基金课题资助(KFS4)
纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分 ,原子光刻技术是纳米图形制作的一项新方法。对直流高压放电产生的亚稳态氩原子束进行准直减小其发散角 ,亚稳态原子在与之传播方向垂直的激光驻波场中发生淬火并沉积在基底上 ,破坏吸附在基底表...
关键词：亚稳态原子 纳米结构制作 光驻波淬火 
纳米印刷光刻技术
《微纳电子技术》2002年第12期36-39,共4页陈献忠 姚汉民 陈旭南 李展 石建平 
中国科学院知识创新工程项目(A2K0009);微细加工光学技术国家重点实验室开放基金课题(KFS4)资助
介绍了纳米结构制作的一种新方法———纳米印刷光刻的基本原理、总体方案。该技术与其它微刻印技术相比,具有成本低、生产效率高、可批量生产、工艺过程简单等优点。介绍了SiC模板的制作方法、用纳米印刷光刻技术制作纳米结构的加工步...
关键词：纳米印刷光刻 纳米结构制作 批量生产 高效率 低成本 SiC模板 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部