纳米光刻技术

作品数:42被引量:33H指数:4
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相关机构:中国科学院复旦大学中国科学技术大学中国科学院大学更多>>
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深圳先进技术研究院制备皮牛弹簧打造超灵敏机器人
《传感器世界》2024年第1期43-43,共1页
中国科学院深圳先进技术研究院生物医学与健康工程研究所副研究员徐海峰团队通过自主开发的超弹磁性光刻胶,构建了弹性体4D纳米光刻技术,制备出迄今最灵敏的人造弹簧系统--皮牛弹簧,探测灵敏度达到500飞牛(10~15牛),实现了皮牛力下微米...
关键词:机器人 中国科学院 纳米技术 探测灵敏度 弹簧系统 精准医疗 纳米光刻技术 光刻胶 
基于衍射光学器件的芯片尺度激光冷却原子研究被引量:3
《计量科学与技术》2021年第10期10-14,40,共6页段俊毅 朱振东 周亚东 刘小赤 茹宁 屈继峰 
国家自然科学基金青年基金资助项目(62005261);国家自然科学基金资助项目(61975194)。
冷原子系统为量子精密测量过程提供了一种接近于静止的测量介质,从而避免了热原子工作介质中存在的频移和展宽,使得测量结果更加精确。但是目前量子精密测量系统中原子冷却部分体积庞大、结构复杂,不利于实现可分发量子计量标准系统的...
关键词:光栅芯片 磁光阱 小型化 纳米光刻技术 
科技前沿
《信息技术与信息化》2020年第8期5-5,共1页
首块基于蚕丝蛋白的硬盘存储器问世。8月11日,中科院上海微系统所陶虎课题组联合美国纽约州立大学石溪分校和德州大学奥斯汀分校相关课题组,首次实现了基于蚕丝蛋白的高容量生物存储技术,这也是国际首块基于天然生物蛋白的硬盘存储器。...
关键词:数字信息 存储技术 硬盘存储器 生物兼容性 生物蛋白 蚕丝蛋白 德州大学 纳米光刻技术 
飞秒激光引领超衍射纳米光刻技术新突破
《前沿科学》2019年第4期76-81,共6页郑美玲 董贤子 赵圆圆 段宣明 
1957年集成电路的发明开启了信息革命的序幕,几十年后的今天,半导体芯片已成为大众消费电子产品中不可或缺的核心部件。在芯片制造工艺中,光刻技术占据十分重要的位置,其将芯片设计图形转移到半导体晶圆上,进一步通过刻蚀等半导体工艺...
关键词:消费电子产品 半导体芯片 半导体工艺 芯片制造 图形转移 光刻技术 集成电路 飞秒激光 
基于纳米技术的图案设计创作实践探索
《包装工程》2016年第18期163-167,共5页苏葵 王蕊 罗薇 晏梦雨 张榉文 
目的纳米科技作为21世纪最重要的科技产业革命之一,其研究成果被广泛应用于各个领域,给人们的生活带来巨变。在纳米科技飞速发展的今天,艺术似乎也正在迈入一个崭新的时期,科学与艺术的交融与碰撞使得它们在各自的领域里不断的创新与突...
关键词:纳米艺术 纳米光刻技术 碳纳米管生长技术 图案设计创作 
HGST(昱科)创10nm级晶格数据存储里程碑
《微电脑世界》2013年第4期17-17,共1页
HGST正在引领硬盘行业进入纳米光刻技术前沿,扩展至半导体制造商的视野。通过创建和复制细微的部件,HGST将把未来硬盘(HDD)存储密度增加1倍。
关键词:数据存储 里程 晶格 M级 纳米光刻技术 半导体制造商 存储密度 HDD 
基于多层膜结构的亚波长光栅研究被引量:1
《物理学报》2012年第10期178-183,共6页梁高峰 赵青 陈欣 王长涛 赵泽宇 罗先刚 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(批准号:2011CB301800-G);国际合作项目(批准号:2011DFA63190);微细加工光学技术国家重点实验室基金(批准号:201101445)资助的课题~~
利用表面等离子体共振效应理论及金属-介质复合膜的特殊纳米光学效应对平面多层膜超分辨光刻技术进行了研究.在曝光光源为365 nm的情况下,实现周期230 nm,线宽100 nm的超分辨光刻成像.讨论了均匀金属-介质多层膜的结构参数选择,并通过...
关键词:表面等离子体 超分辨成像 纳米光刻技术 
美国开发出热蘸笔纳米光刻技术
《军民两用技术与产品》2012年第1期32-32,共1页
美国劳伦斯伯克利国家实验室和伊利诺伊大学香槟分校的科学家首次研究出了温度在蘸笔纳米光刻技术中的作用,并据此开发出了新的热蘸笔纳米光刻技术。利用该技术可在多种材料表面构造纳米结构,用于精确制造纳米设备,以及研究药物作用...
关键词:纳米光刻技术 开发 英国 国家实验室 纳米结构 表面构造 纳米设备 药物作用 
科学家发现温度在蘸笔纳米光刻技术申作用
《功能材料信息》2011年第6期54-54,共1页
美国科学家首次厘清了温度在蘸笔纳米光刻技术中的作用,据此研制出的热蘸笔纳米光刻技术能在物质表面构造大小为20纳米的结构。借助这一技术,科学家们能廉价地在多种材料表面构造和种植出纳米结构,用以制造电路和化学传感器,或者研...
关键词:纳米光刻技术 美国科学家 温度 原子力显微镜 表面构造 纳米结构 化学传感器 分子沉积 
热蘸笔纳米光刻技术
《光学精密机械》2011年第4期9-10,共2页
据美国物理学家组织网报道,美国科学家首次厘清了温度在蘸笔纳米光刻技术中的作用,据此研制出的热蘸笔纳米光刻技术能在物质表面构造大小为20纳米的结构。借助这一技术,科学家们能廉价地在多种材料表面构造和种植出纳米结构,用以制...
关键词:纳米光刻技术 美国科学家 表面构造 纳米结构 化学传感器 物理学家 蛋白质 
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