纳米结构制作

作品数：12被引量：15H指数：2
导出分析报告
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
相关作者：陈献忠陈旭南姚汉民石建平高洪涛更多>>
相关机构：中国科学院北京大学中国科学院重庆绿色智能技术研究院中国科学技术大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《微纳电子技术》《微细加工技术》《半导体技术》更多>>
相关基金：中国科学院知识创新工程国家重点实验室开放基金国家自然科学基金中国科学院科研项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=光学精密工程x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
用亚稳态氩原子束制作纳米结构
《光学精密工程》2003年第1期6-10,共5页陈献忠 高洪涛 姚汉民 陈旭南 李展 石建平 陈元培 
中国科学院知识创新工程项目 (A2K0 0 0 9);微细加工光学技术国家重点实验室开放基金课题资助(KFS4)
纳米结构制作是纳米技术的重要组成部分 ,原子光刻技术是纳米图形制作的一项新方法。对直流高压放电产生的亚稳态氩原子束进行准直减小其发散角 ,亚稳态原子在与之传播方向垂直的激光驻波场中发生淬火并沉积在基底上 ,破坏吸附在基底表...
关键词：亚稳态原子 纳米结构制作 光驻波淬火 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部