纳米结构制作

作品数：12被引量：15H指数：2
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原子束全息技术制作任意微细图形研究
《微细加工技术》2002年第3期48-51,共4页石建平 陈旭南 高洪涛 陈献忠 罗先刚 
中国科学院创新基金资助项目 (A2K0 0 0 )
从波粒二象性原理出发 ,研究了用氖原子束计算全息技术制作任意纳米结构的基本原理和方法 ,克服了用激光梯度场控制原子堆积 ,只能制作单一点、线等周期性纳米结构的不足。分析讨论了原子全息与光学全息的区别 ,指出只有经激光冷却的原...
关键词：任意微细图形 纳米结构制作 计算全息 原子全息 激光冷却 
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