钝化处理

作品数：272被引量：644H指数：10
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相关领域：金属学及工艺化学工程更多>>
相关作者：刘锋赵颖张晓丹魏军胜王磊更多>>
相关机构：中国科学院中国石油化工股份有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中芯国际集成电路制造(北京)有限公司更多>>
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硅异质结电池界面处理关键工艺的研究被引量：7
《人工晶体学报》2013年第2期235-239,共5页王楠 张瑜 周玉琴 
北京市科技计划(D121100001812003);国家重点基础研究计划(973计划)(2011CBA00705)
薄膜硅/晶体硅异质结(HIT)太阳电池是界面器件,其界面性质直接决定器件的性能。本文采用简化的RCA清洗并结合氧化膜保护工艺对硅片进行前期处理;采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)制备薄膜硅/晶体硅异质结;通过光发射谱(OES)研究...
关键词：硅异质结太阳电池 钝化处理 等离子体初期不稳性 退火处理 界面特性 
钝化处理对GaN基LED反向漏电流特性的改善被引量：6
《半导体光电》2006年第2期164-166,共3页薛松 韩彦军 罗毅 
国家高技术研究发展计划项目(2001AA313130;2004AA31G060);北京市科技计划项目(D0404003040321)
通过采用硫代乙酰胺(CH3CSNH2)溶液浸泡和沉积SiNx薄膜对干法刻蚀后的GaN基LED进行了处理。处理后,LED器件在-5 V直流电压偏置下的漏电流下降到约1/6。X射线光电子能谱(XPS)分析结果表明,CH3CSNH2溶液处理能阻止GaN表面吸附O杂质,起到...
关键词：氮化镓 LED 钝化 漏电流 XPS 
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