接触电极

作品数：48被引量：85H指数：5
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MEMS面内电热微驱动器中U型梁的分析被引量：1
《仪表技术与传感器》2015年第6期5-7,共3页郝永平 王锁成 刘双杰 
介绍了一种单刀双掷面内电热微驱动器。基于U型梁受热膨胀的原理,在电压作用下梁受热变形,推动接触电极和信号电极接触,进而输出信号。分别采用金属镍和氮化硅作为驱动器主体结构和隔离部分的结构材料。利用Coventorware软件对驱动器中...
关键词：单刀双掷 Coventorware 电热微驱动器 热膨胀 接触电极 应力校核 
PTCR欧姆接触电极制备方法现状被引量：3
《仪表技术与传感器》2004年第12期8-10,共3页郝永德 熊炫 钟海波 周东祥 
从半导瓷和金属电极的欧姆接触理论出发 ,详细的叙述了PTCR欧姆接触电极的各种主要制备方法。通过对这些方法的优缺点的分析 ,指出磁控溅射法由于具有制备工艺简单、无工业污染、电极成本低廉、膜层致密均匀、附着力强等优点 ,将在PTCR...
关键词：PTCR 欧姆接触电极 磁控溅射 
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