接触式干涉仪

作品数：63被引量：26H指数：3
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接触式干涉仪技术改造被引量：3
《计测技术》2009年第4期53-54,共2页何学军 张志权 
介绍了一种接触式干涉仪数字化改造的方法。改造后的接触式干涉仪采用高精度电感式位移传感器采集数据,由计算机直接输出测量报告;减少了人为的读数误差和对线误差,具有测量精度高、测量速度快、操作简单易掌握等优点。
关键词：接触式干涉仪 电感式位移传感器 计算机 高精度 
接触式干涉仪滤光片波长值的修正
《计测技术》1991年第3期50-51,共2页朱永勤 张鸿良 
关键词：接触式 干涉仪 滤光片 波长值 修正 
三,接触式干涉仪被引量：1
《计测技术》1989年第3期45-48,41,共5页李修振 
关键词：接触式 干涉仪 光波测量仪 
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