多层互连

作品数：20被引量：30H指数：3
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相关领域：电子电信更多>>
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相关机构：瑞萨电子株式会社中国科学院国际商业机器公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
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VLSI多层互连可靠性　第二部分:应力感应失效被引量：1
《微电子技术》1994年第3期1-16,共16页李志宏 武国英 陈文茹 郝一龙 
关键词：VISI 应力迁移 可靠性 多层互连 
VLSI多层互连可靠性　第一部分　电迁移失效(二)
《微电子技术》1994年第2期1-9,共9页武国英 李志宏 陈文茹 郝一龙 
关键词：VLSI 电迁移 可靠性 多层互连 
VLSI多层互连可靠性　第一部分:电迁移失效(一)被引量：1
《微电子技术》1994年第1期1-10,共10页武国英 李志宏 陈文茹 郝一龙 
关键词：VISI 电迁移 可靠性 多层互连 
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