静压气浮导轨

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电子束曝光机工件台X向静压气浮导轨的研制
《微细加工技术》1989年第2期1-7,共7页张翠林 徐丰仁 傅小艺 李友勤 
为实现DB—5型电子束曝光机工件台高速度及高精度的要求,研制了x向闭式静压气浮导轨,该系统由双导轨及单导轨两部分组成。本文主要介绍静压气浮导轨系统的设计计算、性能试验。
关键词：电子束 曝光机 工件台 导轨 设计 
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