绝缘衬底

作品数：47被引量：63H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：刘明周再发李伟华丁桂甫商立伟更多>>
相关机构：中国科学院株式会社半导体能源研究所三星电子株式会社中国科学院微电子研究所更多>>
相关期刊：《电力电子》《电子元器件应用》《化工学报》《国外传感技术》更多>>
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绝缘衬底上二维单晶材料制备研究进展被引量：1
《科学通报》2024年第26期3887-3899,共13页曾凡凯 白金霞 张晓闻 徐小志 
国家自然科学基金(12322406,52102043,61905215)资助。
二维材料因其原子级的厚度而展现出优异的电学、光学、磁学和热学性质,在电子、光电和能源等领域具有广阔的应用前景.随着传统硅基器件逼近物理极限,摩尔定律的延续面临着巨大挑战,二维材料被寄望于超越硅基材料以实现新一代电子器件的...
关键词：二维材料 单晶 绝缘衬底 石墨烯 化学气相沉积 
绝缘衬底上石墨烯的化学气相沉积制备与器件应用被引量：1
《科学通报》2017年第20期2168-2179,共12页杨超 吴天如 王浩敏 谢晓明 
国家科技重大专项(2011ZX02707);上海市自然科学基金(16ZR1442700);中国科学院战略性先导科技专项(XDB04040300)资助
石墨烯作为一种拥有优异性能的二维晶体材料,其制备方法与潜在应用在最近几年内得到了广泛研究.与现有半导体硅工艺相匹配的化学气相沉积方法因其能够以低成本大规模制备高质量石墨烯,逐渐成为工业化大规模制备石墨烯的首选技术.然而,...
关键词：石墨烯 化学气相沉积 绝缘衬底 金属衬底 氮化硼 
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