绝缘衬底

作品数：47被引量：63H指数：4
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SOI—21世纪的硅集成电路技术被引量：1
《电子元器件应用》2001年第3期5-8,30,共5页张廷庆 
本文扼要介绍 SOI 材料的制备技术、SOI 的优越性以及 SOI 的应用。
关键词：绝缘衬底 硅集成电路技术 SOI 
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