多项目晶圆

作品数：41被引量：12H指数：3
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考虑缺陷率模型的多项目晶圆布图规划算法被引量：1
《计算机工程》2014年第4期258-261,268,共5页张腾 史峥 廖海涛 
国家自然科学基金资助项目(61204111)
针对随机缺陷会降低多项目晶圆实际产出的问题,提出一种新的多项目晶圆布图规划算法。通过在布图规划中引入缺陷率模型的方法,增加芯片产量的裕量,降低因随机缺陷造成的产量损失。同时优化模拟退火流程,使得在布图尺寸约束条件下,布图...
关键词：多项目晶圆 布图规划 模拟退火算法 代价函数 缺陷率模型 布图尺寸约束 
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