浪涌保护器件

作品数：25被引量：24H指数：3
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改进SSPD浪涌吸收能力的工艺研究被引量：2
《微电子学》1999年第3期183-186,共4页郑学仁 吴朝晖 刘百勇 
广东省自然科学基金
介绍了用于宽带快速信息传输系统的半导体瞬态浪涌保护器件（ＳＳＰＤ）在小的器件面积和小的器件电容情况下，提高ＳＳＰＤ浪涌吸收能力的工艺方法。理论分析和实验结果都说明，关键是减少基区总宽度，而在制备工艺中设法减少基区少子...
关键词：半导体器件 半导体工艺 浪涌保护器件 SSPD 
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