新器件

作品数:421被引量:110H指数:7
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相关作者:黄如黎明张兴张盛东韩汝琦更多>>
相关机构:北京大学厦门大学电子科技大学西安电力电子技术研究所更多>>
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静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
《中国机械工程》2005年第z1期272-274,共3页王凯 赵新 何维玮 卢桂章 
国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA422200,2002AA404030);国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033109);国家自然科学基金资助项目(60475038,60173061);高等学校骨干教师资助计划资助项目;天津市自然科学基金资助项目
在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研...
关键词:开发流程 静电式光开关 优化设计 MEMS 
超深亚微米非对称Halo LDD低功耗新器件的研究分析被引量:1
《Journal of Semiconductors》2003年第5期510-515,共6页田豫 黄如 
国家重点基础研究专项基金资助项目 (编号 :2 0 0 0 0 36 5 0 1)~~
提出了一种新的器件结构——非对称 Halo L DD低功耗器件 ,该器件可以很好地抑制短沟效应 ,尤其可以很好地改善 DIBL效应、热载流子效应以及降低功耗等 ,是低功耗高集成度电路的优选结构之一 .分析了非对称 HaloL DD器件的主要特性 ,并...
关键词:超深亚微米 非对称 HaloLDD 低功耗 高集成度电路 
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