机械构件

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微机电系统
《导航与控制》2005年第4期51-52,共2页王巍 赵采凡（审核） 
微机电系统（Micro—electro—mechanical Systems，简称MEMS）技术是建立在微米／纳米技术（micro／nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米／纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系...
关键词：微机电系统 微米/纳米技术 SYSTEMS 微电子机械系统 21世纪 纳米材料 机械构件 光学系统 驱动部件 微型系统 
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