机械驱动

作品数：212被引量：211H指数：8
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MEMS运动件的芯片外机械驱动方法
《微纳电子技术》2003年第7期477-480,共4页王皓 姚汉民 杜春雷 焦玉中 
中国科学院光电技术研究所领域前沿部属课题 (CK0 2 12 )资助
研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题 ,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动 ,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合 ,从而驱动微运动件。重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点 ...
关键词：MEMS 运动件 芯片 机械驱动 微结构 微机电系统 压电陶瓷 
正混合热体系的机械驱动非晶化被引量：5
《中国有色金属学报》1994年第1期50-53,63,共5页柳林 
报道了用机械合金化法制备具有正混合热Ta-Cu系的非晶合金,通过x射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)等手段,研究了球磨样品的结构变化,并在实验上确定了Ta-Cu系非晶形成范围,分析了正混合热体系的非晶转变驱动力。最后,用热...
关键词：机械合金化 钽铜系 金属玻璃 
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