机械噪声

作品数：339被引量：899H指数：14
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微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析被引量：3
《传感技术学报》2007年第1期101-106,共6页金大重 李昕欣 刘剑 于海涛 王跃林 左国民 李鹏 
国家重点基础研究发展规划项目资助(973计划2006CB300405);国家自然科学基金项目资助(60376038)
本文采用能量统计分布方法研究微机械悬臂梁的噪声模型,对热机械噪声理论模型进行了拓展和修正,使之适用于低温和高频条件.研究了温度、压力和频率对热机械噪声、温漂噪声和吸附-脱附噪声的影响.根据研究结果对静态检测悬臂梁和动态频...
关键词：微电子机械系统 噪声机制 微机械悬臂梁 分辨率 
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