激光干涉法

作品数：95被引量：356H指数：10
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基于激光干涉法的CO_(2)气体压力测量
《计测技术》2021年第6期55-58,共4页张博涵 杨军 谢兴娟 张大治 姜延欢 
国家自然科学基金(51775526)。
气体压力无接触式测量是激光技术应用的重要研究方向。为解决气体压力测量过程中的溯源问题,设计了一种基于激光干涉技术的压力测量方法,通过洛伦兹-洛伦茨方程、气体状态方程和光程差方程的理论研究,建立了基于光程差的压力测量模型,...
关键词：激光干涉法 气体压力 气体状态方程 光程 
激光干涉法近场扫描架平面度高精度测量及误差分析被引量：5
《计测技术》2013年第2期51-54,共4页王宏伟 张文雯 
根据近场扫描架的结构和运动特点,运用非封闭网格法布线,通过双频激光干涉仪及其直线度附件来采集各条线在Z向的直线度,用最小二乘法求出扫描架X轴和Y轴所走轨迹扫描而成平面的平面度,并分析了影响直线度测量的误差因素。
关键词：激光干涉仪 平面度 最小二乘法 误差因素分析 
激光干涉法微位移测量技术综述被引量：28
《计测技术》2012年第6期1-5,13,共6页段小艳 任冬梅 
国家"十一五"技术基础计量科研项目资助(J052010C001)
激光干涉法位移测量技术具有可溯源、分辨力高、测量速度快等独特优势,是目前和近期纳米级以上分辨力位移测量的主流技术。本文对目前主要的激光干涉位移测量技术进行了分类介绍,重点讨论了高分辨力干涉微位移测量技术,并对各种干涉仪...
关键词：微位移测量 高分辨力 可溯源 激光干涉仪 
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