激光直写技术

作品数:43被引量:101H指数:5
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相关作者:陈林森浦东林陆志伟胡元陈毅挺更多>>
相关机构:苏州大学吉林大学华中科技大学天津大学更多>>
相关期刊:《安徽科技》《红外与激光工程》《激光与红外》《中国激光》更多>>
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基于连续激光的纳米结构研制被引量:2
《应用光学》2017年第2期165-173,共9页王凯歌 张琛 王爽 赵伟 冯晓强 孙聃 李红福 范连斌 白晋涛 
科技部国际科技合作项目(2011DFA12220);国家自然科学重大研究计划项目(91123030);国家自然科学青年科学基金项目(11504294);陕西省教育厅基金项目(2010JS110;14JS107)
基于激光受激辐射损耗原理的远场光学超分辨成像技术,当圆形入射高斯激光经过涡旋相位板调制后,将转变为中心光强为零的圆环形光束,该形状的激光束与光敏聚合物作用,能够制备出具有一定功能的纳米结构。介绍了自主搭建的基于圆环连续激...
关键词:光学衍射极限 连续激光直写技术 相位调制 纳米柱阵列 功能纳米复合结构 
连续型平面衍射聚光透镜掩模的制作被引量:3
《应用光学》2005年第6期77-80,共4页王多书 罗崇泰 刘宏开 马勉军 黄良甫 
针对目前二元光学元件掩模制作工艺过程的诸多不足,对连续型平面衍射聚光透镜掩模的激光直写制作工艺进行了研究。基于基尔霍夫标量衍射理论,采用光线追迹法设计了连续型平面衍射聚光透镜掩模。采用激光直写技术,利用CLW S-300M/C极坐...
关键词:掩模 聚光透镜 平面衍射 激光直写技术 
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