激光直写技术

作品数:43被引量:101H指数:5
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极坐标激光直写技术制作微结构被引量:1
《激光与红外》2006年第7期525-528,共4页王多书 罗崇泰 陈焘 刘宏开 马勉军 黄良甫 
简述了极坐标激光直写技术原理,并利用该技术研究了在铬板、光刻胶版表面制作微结构的工艺,制作了光栅、非涅耳透镜、曲面衍射透镜、平面连续微结构衍射透镜掩模以及基于MEMS技术的微型太阳敏感器光学掩模。
关键词:激光直写技术 掩模 微结构 微光学 
激光直写技术应用于烫金箔隐形图像上的研制
《激光与红外》2004年第4期257-259,共3页陈林森 陆志伟 周望 孙菁 胡元 
江苏省高技术项目基金的支持。
用电子束逐行扫描方法刻蚀衍射光学元件的浮雕结构精度高而速度低。提出了一种采用逐点激光直写浮雕位相结构方法来产生具有隐形图像反射二元整形元件,指出用方点光刻位相结构有利于衍射效率的提高。在激光烫金箔上制作具有隐形图像功...
关键词:激光直写 光束整形信息隐藏 位相编码 
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