极限真空度

作品数:30被引量:12H指数:2
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相关领域:一般工业技术金属学及工艺更多>>
相关作者:王君杨舒然崔锋赵峰何志龙更多>>
相关机构:中国石油大学(华东)东北师范大学中国科学院西安交通大学更多>>
相关期刊:《真空与低温》《应用能源技术》《真空》《特钢技术》更多>>
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半导体衬底晶体材料生长真空系统
《表面技术》2007年第1期74-74,共1页
一种适用于半导体衬底晶体材料生长的真空系统,包括晶体生长真空室和高真空系统,所述高真空系统包括用于抽真空的直联旋叶式机械泵、钛离子泵和冷却阱,直联旋叶式机械泵经预真空阀门、真空管道接钛离子泵,钛离子泵经冷却阱、阀门、...
关键词:高真空系统 半导体衬底 晶体生长 材料生长 钛离子泵 真空阀门 真空管道 极限真空度 
WO_(2.90)在烯烃催化氧化反应中的应用
《高等学校化学学报》1986年第2期171-173,共3页蔡显鄂  朱京 庄承群 王迅 
本文研究大表面积的WO_(2.90)对丙烯的热脱附作用,并以丙烯和环己烯作为直链和环状烯烃的典型化合物,初步探讨其催化氧化性质。 (一) 实验部分 1.热脱附谱 系统用不锈钢制成,极限真空度可达4×10^(-10)乇.吸附时丙烯的压强为10^(-6)—10...
关键词:催化氧化反应 四极质谱计 热脱附谱 极限真空度 质荷比 环己烯 真空室 烯丙基 
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