极紫外

作品数：413被引量：787H指数：12
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激光锡等离子体的状态参数分布和极紫外波段辐射的模拟研究
《物理学报》2025年第3期1-15,共15页敏琦 王国栋 何朝伟 何思奇 卢海东 刘兴邦 武艳红 苏茂根 董晨钟 
国家自然科学基金(批准号:12474279,12064040,12464036,12374384);中央引导地方财政专项(批准号:23ZYQA293)资助的课题。
激光锡(Sn)等离子体光源是当前先进极紫外(EUV)光刻机中最为核心的分系统,其辐射出的13.5 nm附近2%带宽内的EUV光的功率值和稳定性是决定整个光刻机是否成功的关键指标之一,本文针对激光Sn等离子体光源这一复杂系统,开展了详细的关于等...
关键词：极紫外光刻光源 激光锡等离子体 辐射流体力学程序 极紫外光谱 
极紫外波段的少电子原子精密光谱测量
《物理学报》2024年第20期100-111,共12页肖峥嵘 张恒之 华林强 唐丽艳 柳晓军 
国家自然科学基金(批准号:12121004,U21A20435,12393823,92265206,12174402,12393821);中国科学院基础与交叉前沿科研先导专项(B类先导专项)(批准号:0920000);中国科学院稳定支持基础研究领域青年团队计划(批准号:YSBR-055)资助的课题.
基于少电子原子体系的精密光谱测量为“质子半径之谜”、量子电动力学高精度检验等重大科学问题的解决带来曙光,因此备受关注.然而,少电子体系许多重要的跃迁谱线位于真空/极紫外波段,缺少合适的窄线宽光源是阻碍其测量精度进一步提升...
关键词：少电子原子 精密光谱测量 极紫外光梳 拉姆齐光梳 量子电动力学 
基于匀光管的极紫外消相干和光强均匀化仿真研究
《物理学报》2024年第11期133-144,共12页李慧 谭芳蕊 尹皓玉 马钺洋 吴晓斌 
国家自然科学基金(批准号:62071464);中国科学院前瞻战略科技先导项目(A类先导项目)资助的课题。
自由电子激光光源(free electron laser,FEL)可发出波长为13.5 nm的极紫外(extreme ultra-violet,EUV)辐射,在EUV光刻领域能够发挥重要作用.但FEL自身的高相干特性以及类高斯光强轮廓分布特征,会对成像带来不利影响,无法满足EUV光刻领...
关键词：极紫外光源 自由电子激光 匀光管 相位 光强均匀性 
极紫外光源及高荷态离子诱导下甲烷的脱氢通道碎裂机制被引量：1
《物理学报》2024年第4期144-150,共7页骆炎 余璇 雷建廷 陶琛玉 张少锋 朱小龙 马新文 闫顺成 赵晓辉 
国家重点研发计划(批准号:2022YFA1602500);国家自然科学基金(批准号:11934004,11974358)资助的课题.
CH_(4)广泛存在于行星大气之中,研究CH_(4)的解离动力学对了解宇宙中气体演化的过程具有重要的价值.目前,CH_(4)^(2+)→CH_(3)^(+)+H^(+)碎裂通道已被大量研究,但针对该通道的解离机制的解释尚存在一定争议.本实验利用高分辨反应显微成...
关键词：极紫外光 动能释放 异构化 库仑爆炸 
亚角秒空间分辨的太阳极紫外宽波段成像光谱仪光学设计
《物理学报》2024年第3期357-369,共13页黄一帆 邢阳光 沈文杰 彭吉龙 代树武 王颖 段紫雯 闫雷 刘越 李林 
国家自然科学基金(批准号:62205027,42274208);中国科学院战略性先导科技专项(批准号:XDA15018300)资助的课题。
狭缝式成像光谱仪是太阳极紫外光谱成像探测的重要工具之一,然而目前国内尚无该类载荷,导致太阳物理学和空间天气学等学科在极紫外光谱诊断研究方面主要依赖国外仪器数据,严重制约了相关学科的发展.国外已发射的成像光谱仪仅具有2"量级...
关键词：太阳极紫外 光学设计 成像光谱仪 超环面变线距光栅 
激光诱导放电等离子体极紫外辐射的模拟
《物理学报》2024年第1期258-265,共8页王均武 玄洪文 俞航航 王新兵 Vassily S.Zakharov 
广州市基础与应用基础研究专题(批准号:2023A04J0024);中国科学院人才引进计划(批准号:E33310030D);中国科学院空天信息创新研究院(批准号:E1Z1D101,E2Z2D101)资助的课题。
极紫外光刻是目前新一代超高集成度半导体芯片制造流程中重要的一环,激光诱导放电等离子体是极紫外光源产生的重要技术手段之一.本文基于全局状态方程、原子结构计算程序、碰撞辐射模型建立了一个辐射磁流体力学模型,对激光诱导放电等...
关键词：辐射磁流体力学 激光诱导放电等离子体 碰撞辐射模型 极紫外光 
低密度SnO_(2)靶激光等离子体极紫外光及离带热辐射被引量：1
《物理学报》2023年第6期209-216,共8页司明奇 温智琳 张齐进 窦银萍 李博超 宋晓伟 谢卓 林景全 
国家自然科学基金(批准号:U22A2070,62005021,62105040,62175018);重庆市自然科学基金(批准号:cstc2021jcyj-msxmX0735);吉林省科技厅项目(批准号:YDZJ202201ZYTS301,YDZJ202102CXJD028,20210402072GH);吉林省教育厅(批准号:JJKH20220721KJ)资助的课题.
极紫外光刻技术是我国当前面临35项“卡脖子”关键核心技术之首.高极紫外光转换效率和低离带热辐射的激光等离子体极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用激光作用固体Sn和低密度SnO_(2)靶对极紫外光源以及其离带热辐...
关键词：低密度靶 极紫外光源 离带热辐射 光谱效率 
稳态微聚束加速器光源被引量：4
《物理学报》2022年第15期74-88,共15页唐传祥 邓秀杰 
清华大学自主科研专项(批准号:20191081195);国家自然科学基金(批准号:12035010)资助的课题。
稳态微聚束(steady-state micro-bunching,SSMB)原理采用激光操控储存环中的电子,可形成具有精微纵向/时间结构的电子束团,即微聚束.通过有机结合微聚束辐射的强相干特性以及储存环内电子束的高回旋频率特性,SSMB光源可提供高平均功率...
关键词：加速器光源 稳态微聚束 原理验证实验 极紫外光刻 
太阳极紫外HeⅡ30.4 nm谱线层析成像及其光谱数据反演被引量：2
《物理学报》2022年第15期351-360,共10页邢阳光 彭吉龙 段紫雯 闫雷 李林 刘越 
中国科学院战略性先导科技专项(批准号:XDA15018300)资助的课题。
由磁场重联触发的发生在日冕和过渡区域上的具有高度动态的太阳爆发活动是灾害性空间天气的驱动源,对太阳爆发活动的空间成像和光谱分光测量是实现精准空间天气预报的关键数据来源.太阳大气上单离子氦的Lyman a跃迁产生波长30.4 nm的He...
关键词：太阳极紫外 层析成像 成像光谱仪 光谱数据反演 
基于极紫外光的Ne,Xe原子电离被引量：1
《物理学报》2022年第14期82-91,共10页雷建廷 余璇 史国强 闫顺成 孙少华 王全军 丁宝卫 马新文 张少锋 丁晶洁 
国家自然科学基金(批准号:11905083,U1932133)资助的课题.
极紫外(extreme ultraviolet, XUV)光与物质相互作用是探索微观粒子内部结构的重要方式.本文利用反应显微成像谱仪测量了Ne, Xe原子在XUV光作用下单电离与双电离的电子角分布,提取了Ne原子2p电子和Xe原子5p, 5s电子电离的β不对称参数,...
关键词：光电子角分布 极紫外光 β不对称参数 
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