集束型装备

作品数：19被引量：19H指数：2
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：李林瑛胡静涛郑秀红卢睿臧洁更多>>
相关机构：大连外国语大学中国科学院辽宁警察学院中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《半导体技术》《控制与决策》《信息与控制》《计算机集成制造系统》更多>>
相关基金：辽宁省教育厅高等学校科学研究项目沈阳市科技计划项目国家自然科学基金辽宁省高等学校优秀人才支持计划更多>>
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多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题被引量：3
《计算机集成制造系统》2010年第1期109-114,126,共7页李林瑛 胡静涛 
沈阳市科技计划资助项目(108155-02-00)~~
为解决机械手活动序列和产能分析这一半导体制造业多集束型装备调度的关键问题,研究了一类通用的多集束型装备机械手调度中的k晶圆周期序列问题,证明了k晶圆周期序列的平均周期下界。提出了一种构造k晶圆周期序列的策略和实现该策略的...
关键词：半导体制造 多集束型装备 双臂机械手 缓冲加工模块 并行机 调度 
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