集束型装备

作品数：19被引量：19H指数：2
导出分析报告
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：李林瑛胡静涛郑秀红卢睿臧洁更多>>
相关机构：大连外国语大学中国科学院辽宁警察学院中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《半导体技术》《控制与决策》《信息与控制》《计算机集成制造系统》更多>>
相关基金：辽宁省教育厅高等学校科学研究项目沈阳市科技计划项目国家自然科学基金辽宁省高等学校优秀人才支持计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=制造业自动化x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
集束型半导体装备调度系统架构模型被引量：2
《制造业自动化》2015年第2期103-107,共5页卢睿 
辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L20144456)
在对集束型半导体装备控制软件(Cluster Tool Controller,CTC)架构及SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)标准研究的基础上,提出了基于SEMI标准的CTC调度系统架构模型,包括用户界面层、作业与调度管理层、模块管理...
关键词：半导体制造 集束型装备控制软件 调度系统 模块通信标准 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部