加速度开关

作品数：43被引量：79H指数：5
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准LIGA微加速度开关的研制被引量：6
《微纳电子技术》2003年第7期312-313,316,共3页陈光焱 何晓平 施志贵 丁元萍 赵龙 
武器装备预先研究基金资助项目 (2 0 0 2 42 10 5 0 3 5 0 3 )
阐述了一种主要由质量块、折叠梁结构、触点电极和自锁 /解锁机构组成的微型加速度开关的研制过程。设计过程中采用有限元软件Ansys进行结构模拟计算 ,确定了合适的结构参数 ;以硼硅玻璃为基底 ,采用准LIGA和牺牲层技术 ,分三层制作完...
关键词：准LIGA 微加速度开关 牺牲层 ANSYS 折叠梁 设计 
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