工作台设计

作品数：79被引量：87H指数：5
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一种抗灰尘的近场承载微工作台设计被引量：1
《光学精密工程》2004年第3期249-253,共5页赵大鹏 李庆祥 李玉和 訾艳阳 王亮 彭海成 
国家自然科学基金(50305012);高等学校博士点专项科研基金(20020003015)资助项目
为满足近场光存储的高密度、高速度和集成化的要求,提高近场界面耦合效率,消除灰尘对固体浸没透镜(SIL)的磨损,设计了一种新型的承载微工作台,并建立了系统动力学模型。微工作台正负压力并存的结构极大地提高了承载刚度及工作稳定性;气...
关键词：微工作台 气垫面 V形轨道 负压力 近场光存储 
磁悬浮精密定位工作台设计与有限元综合分析被引量：1
《光学精密工程》2004年第z2期217-222,共6页王延风 卢志山 何惠阳 宋文荣 
利用磁悬浮技术将工作台悬浮在导轨上,消除了摩擦和磨损,采用直线电机无接触驱动实现了工作台的精密定位.针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的磁悬浮精密定位工作台进行了CAD结构设计,有限元电磁场分析,在采用有限元软件Ansys进行...
关键词：CAD/CAE 磁悬浮 直线电机 光刻机 有限元法 电磁场分析 结构力学分析 模态分析 模态测试 
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