光波导薄膜

作品数：22被引量：62H指数：6
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相关作者：雷明凯包洪涛侯嫣嫣祝世宁李锟更多>>
相关机构：日东电工株式会社大连理工大学电子科技大学南京大学更多>>
相关期刊：《半导体光电》《山东建筑大学学报》《硅酸盐学报》《中国稀土学报》更多>>
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有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征被引量：1
《半导体光电》2007年第4期525-527,共3页王玥 吴远大 李建光 王红杰 胡雄伟 
国家自然科学基金资助项目(60507006;60477035)
采用有机/无机杂化溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了SiO2光波导薄膜材料。采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(MAPTMS)作为反应先躯体,四丙氧基锆(ZPO)作为调节折射率的材料,正丙醇(n-propyl alcohol)为溶剂,利用旋涂方法在Si基片上成膜,采取...
关键词：溶胶-凝胶 杂化 SIO2 光波导 
掺Er Al_2O_3光波导薄膜材料的制备及光学特性被引量：6
《半导体光电》2003年第5期344-349,共6页李淑凤 宋昌烈 李成仁 饶文雄 雷明凯 
国家自然科学基金资助项目(69889701);辽宁省科技厅资助项目 (2 0 0 2 2 1 1 0 )
　介绍了掺ErAl2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果。比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素。不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响。退火对...
关键词：光波导 Er∶Al2O3薄膜 PL特性 
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