光检测器

作品数：66被引量：93H指数：5
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通信领域中的MEMS器件及发展动态被引量：5
《电讯技术》2004年第2期19-24,共6页谌贵辉 张万里 彭斌 蒋洪川 
微电子机械系统(MEMS)技术在通信领域中有着广泛的应用前景,本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS器件如MEMS电感、电容、开关、滤波器、光检测器等MEMS器件的原理、结构和发展概况,指出了MEMS器件发展所面临的问题和方向。
关键词：MEMS 微电子机械系统 无线通信 光通信 滤波器 光检测器 电感 电容 
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