硅单晶生长

作品数：16被引量：11H指数：2
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相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：刘丁庞炳远索开南韩焕鹏闫萍更多>>
相关机构：西安理工大学江苏华盛天龙光电设备股份有限公司中国电子科技集团公司第四十六研究所上海超硅半导体有限公司更多>>
相关期刊：《稀有金属》《电子工业专用设备》《人工晶体学报》《Journal of Semiconductors》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划陕西省教育厅科研计划项目更多>>
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硅单晶生长工艺参数建模及多目标优化被引量：1
《人工晶体学报》2017年第11期2095-2101,共7页黄伟超 刘丁 
国家自然科学基金重点项目(61533014);国家重点基础研究发展计划(973计划)(2014CB360500)
为了获得满足高品质硅单晶体生长的工艺参数,一种计算流体动力学(computational fluid dynamics,CFD)方法、数据处理组合法(group method of data handing,GMDH)型神经网络和第二代非支配排序遗传算法II(nondominated sorting genetic a...
关键词：晶体生长 工艺参数优化 计算流体动力学 第二代非支配排序遗传算法 多目标优化 
CZ法硅单晶生长电阻网络建模及MPC仿真分析
《西安理工大学学报》2016年第2期142-148,206,共8页弋英民 张潼 
国家重点基础研究发展计划973项目资助(2014CB360508);国家自然科学基金资助项目(61533014);陕西省教育厅科研资助项目(16JS069)
CZ法硅单晶生长系统具有强非线性及大滞后的特点。本文就该系统建立了传热传质的低阶模型,计算了该模型在初始条件下的稳态解,并进行线性化处理及分析,根据系统的可控性及稳定性确定控制策略,并设计控制器。结果表明:在低阶模型中,采用G...
关键词：单晶硅 CZ法 电阻网络类比 低阶模型 模型预测控制 
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