硅谐振

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高精度硅谐振压力变送器研究
《自动化仪表》2025年第2期107-110,116,共5页刘维嵩 赵钦君 
为了将硅谐振压力传感器的频率信号数字化、将压力信号转变为标准的模拟信号,针对高精度硅谐振压力传感器设计了一种将谐振频率信号数字化的硅谐振压力变送器。该变送器在硬件上选用数模转换器(DAC)芯片AD5420、集成电路(IC)调制解调芯...
关键词:硅谐振压力传感器 电路设计 频率信号 模拟信号 中间阈值 压力变送器 高精度转换 
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