硅谐振

作品数：15被引量：19H指数：3
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一种硅谐振压力传感器敏感芯体的特性测试被引量：1
《测控技术》2022年第9期84-89,共6页王宏音 姚敏强 李拉兔 
国家重点研发计划(2018YFF01010400)。
针对某型硅谐振压力传感器的压力敏感芯体,主要测试了该压力敏感芯体的幅频特性、相频特性、对气压的响应、对直流偏置电压的响应等关键特性,从而结合自激振荡理论,指导该传感器的驱动电路的设计与改进。该压力敏感芯体激励与输出信号...
关键词：硅谐振 压力传感器 自激振荡 幅频特性 相频特性 
硅谐振压力微传感器开环自动测试技术被引量：1
《测控技术》1999年第3期12-14,共3页周浩敏 邢维巍 
鉴于微传感器敏感元件的尺寸已经是“微米”级，并且所要处理的信号最大仅为微伏量级，信噪比极低，因此在微传感器的开环测试中需要采取新的技术和测试方法。本文主要讨论了硅谐振压力微传感器开环测试中的自动测试以及同频干扰问题。
关键词：硅谐振 微传感器 自动测试 传感器 开环测试 
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