硅谐振微传感器

作品数：3被引量：7H指数：1
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硅谐振微传感器中微弱信号频率的外差式随机共振检测被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1542-1544,共3页黄咏梅 林敏 
浙江省自然科学基金资助项目(Y104338)
硅谐振微传感器输出信号的信噪比很低,频率信号往往淹没在噪声之中.论文分析了随机共振系统的功率谱放大率和信噪比特性,提出了外差式随机共振频率检测方法,并将该方法应用于硅谐振微传感器输出信号的频率检测.理论分析和数值仿真结果表...
关键词：MEMS 硅谐振微传感器 微弱信号 外差式 随机共振 
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