硅压力传感器

作品数：153被引量：327H指数：8
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微加工硅压力传感器被引量：1
《自动化仪表》1998年第9期27-29,共3页杨玉 贺小涛 
一、引言 压力是反映物质状态的重要参数之一：常用的压力传感器型式有电容式、电感式、压电式、应变式。
关键词：微加工 硅 压力传感器 工作原理 
扩散硅压力传感器及其温度补偿被引量：4
《自动化仪表》1997年第3期36-39,共4页陈曦 
讨论了扩散硅压力传感器及其温度补偿问题，给出了压力传感器模拟补偿和基于微处理器迸行数字补偿的一般方法。数字补偿方法可将压力传感器的精度提高到 0．05％～01％ FS。
关键词：压力传感器 扩散硅 温度补偿 微处理器 
补偿扩散硅压力传感器灵敏度温漂的新方法被引量：1
《自动化仪表》1992年第10期12-15,共4页胡贵池 范玉玲 倪礼真 
首先分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的影响,然后以恒压激励方式的典型补偿电路为例,通过推导,提出一种在桥路中串入电阻的补偿方法。经测试数据的比对,证明该补偿方法切实可行,提高了传感器的性能。
关键词：压力传感器 灵敏度 补偿 温漂 
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