合成石英玻璃

作品数：16被引量：23H指数：3
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相关作者：顾真安向在奎饶传东隋梅王玉芬更多>>
相关机构：赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司信越化学工业株式会社中国建筑材料科学研究总院中国建筑材料科学研究院更多>>
相关期刊：《电子元件与材料》《玻璃》《硅酸盐通报》《建筑玻璃与工业玻璃》更多>>
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低吸收高均匀合成石英玻璃研究进展
《玻璃》2025年第3期7-13,共7页孙绯 刘俊龙 樊明轩 陈祥 周妍希 张寒 
国家科技重大专项(项目编号:2024ZD0605400);荆州市科技计划项目(2024AA01)。
低吸收高均匀合成石英玻璃具有极低的羟基含量、金属杂质含量和极佳的光学均匀性,是高功率激光光学和半导体光刻领域的关键材料。通过对国内外低吸收高均匀合成石英玻璃的技术发展现状进行综述,指出了目前与国外产品存在的差距,同时也...
关键词：低吸收 高均匀 合成石英玻璃 制备方法 
超低膨胀合成石英玻璃关键制造工艺研究
《玻璃》2024年第8期7-12,共6页张寒 刘俊龙 耿爱霞 周轶 朱梦瑶 刘志龙 
湖北省科学技术厅重点研发计划项目(2021BAA062)。
超低膨胀石英玻璃在室温区间下具有近零的热膨胀系数,常作为精密光路系统的反射镜、激光谐振腔体等部件应用于天基太空望远镜、半导体光刻设备用光学元件、原子钟等领域,在航空航天、精密测量等领域具有重要作用。本研究使用四氯化硅和...
关键词：超低膨胀石英玻璃 热膨胀系数 化学气相沉积法 
超低膨胀玻璃的发展及应用
《玻璃》2024年第7期1-9,共9页刘志龙 耿爱霞 毛露路 莫大洪 马赫 刘俊龙 朱梦瑶 张寒 
湖北省科学技术厅重点研发计划项目(2021BAA062)。
超低膨胀玻璃在室温区间下具有近零的热膨胀系数,作为天文望远镜反射镜、精密光路系统的光学元件、激光陀螺仪谐振腔体等部件在空间光学、精密测量、光刻等领域发挥重要作用。通过介绍国内外超低膨胀玻璃的发展历程,系统阐述了超低膨胀...
关键词：超低膨胀玻璃 热膨胀系数 微晶玻璃 合成石英玻璃 
合成石英玻璃炉膛内气流场模拟仿真国内外发展现状被引量：2
《硅酸盐通报》2024年第4期1230-1236,共7页周建欣 聂兰舰 王慧 贾亚男 魏晋 刘瑞旺 
中国建材集团攻关专项资助(2023SJYL03)。
在合成石英玻璃的生产过程中,炉膛的设计以及炉膛内气流场的合理分布和控制会影响合成石英玻璃的均匀性和温度分布,从而进一步影响合成石英玻璃的物理性能和化学成分均匀性,因此炉膛内气流场的稳定性对于提高合成石英玻璃的生产效率具...
关键词：合成石英玻璃 化学气相沉积 炉膛气流模拟 计算流体力学 多物理场耦合 
化学气相沉积合成石英玻璃中二氧化硅团簇形成分子动力学模拟
《信息记录材料》2021年第5期17-19,共3页周鸣飞 黄耀松 
本文采用ReaxFF力场开展气相SiO2分子冷却形成团簇过程的分子动力学模拟,研究讨论了体系在初始温度为2500K、2414K和2326K下,经过1000K下降后的成核过程,结果表明在一定温度和压力条件下分子自发形成团簇是可以发生的,团簇形成过程是由S...
关键词：二氧化硅 团簇 气相成核 分子动力学模拟 REAXFF 
入口条件对D4合成石英玻璃的影响被引量：3
《燃烧科学与技术》2018年第6期477-486,共10页黄泽宇 黄耀松 陈靖 郑丽丽 
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0303801)
通过对D4合成石英玻璃过程的数值模拟研究,分析了氢氧当量比、氢氧质量流量、D4和载气总流量对沉积面温度和组分分布以及沉积位置的影响,并根据石英玻璃软化温度优化了沉积面形状.研究结果表明,氢氧当量比为1.0时,沉积面上温度和组分浓...
关键词：石英玻璃 D4反应机理 反应流 数值模拟 
CVD合成石英玻璃的结构均匀性研究被引量：11
《武汉理工大学学报》2010年第22期106-110,共5页隋梅 孙元成 宋学富 王宏杰 
高纯石英玻璃在光学、光通信及惯性导航中的应用要求其具备高的结构均匀性。CVD(化学气相沉积法)合成高纯石英玻璃的工艺条件决定了它具备的结构状态。对使用卧式和立式两种工艺合成高纯石英玻璃的结构均匀性进行了研究,通过应力测试和...
关键词：石英玻璃 结构均匀性 化学气相沉积 
坨面形状对CVD合成石英玻璃沉积速率影响被引量：1
《武汉理工大学学报》2010年第22期119-122,共4页徐驰 王友军 束忠明 宋学富 王蕾 
在化学气相沉积(CVD)合成石英玻璃工艺中,针对不同熔融玻璃坨面形状,采用计算流体动力学(CFD)对炉膛内气流场进行模拟。模拟结果表明坨面形状对沉积过程影响明显:当坨面为球形时,炉膛内部气流场稳定,有利于SiO2微粒快速沉积;当坨面为平...
关键词：化学气象沉积 石英玻璃 计算流体力学 沉积速率 
载料气体对化学气相沉积合成石英玻璃沉积速率的影响(英文)被引量：5
《硅酸盐学报》2009年第10期1796-1802,共7页徐驰 顾真安 饶传东 
采用化学气相沉积工艺合成了石英玻璃,研究了沉积速率与载料气体之间的关系。利用扫描电子显微镜观察火焰中SiO2粒子微观形态和尺寸。通过对SiCl4水解、氧化反应速率的计算表明:在一定温度下,当同时存在充足的H2O和O2时,SiCl4氧化反应...
关键词：载料气体 合成石英玻璃 沉积速率 反应机理 
合成石英玻璃的生产工艺及缺陷形成分析被引量：2
《建筑玻璃与工业玻璃》2009年第8期19-22,共4页向在奎 王玉芬 饶传东 隋梅 
本文阐述合成石英玻璃（通称Ⅲ类石英玻璃）生产工艺过程，从燃烧和沉积过程分析，详述合成石英玻璃中气泡、条纹、金属杂质等缺陷的产生及对玻璃光学均匀性影响。
关键词：合成石英玻璃 缺陷 光学均匀性 
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